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空氣干凈嗎?為了理解這個(gè)問題,恐怕沒有專業(yè)的設(shè)備和儀器,我們只能憑氣味來判斷。然而,在芯片的生產(chǎn)車間,僅僅靠鼻子來辨別空氣是否干凈是不夠的,因?yàn)樾酒纳a(chǎn)成本很高,而且非常脆弱。在生產(chǎn)過程中,對環(huán)境的要求幾乎是嚴(yán)格的。這種芯片應(yīng)該誕生在無菌、無靜電、無塵和無有害氣體的環(huán)境中。因此,芯片必須在高度清潔的電子無塵車間生產(chǎn)和制造。只有這樣才能最大限度地防止芯片被燒毀和報(bào)廢。因此,對于企業(yè)來說,電子無塵車間在芯片生產(chǎn)過程中至關(guān)重要。那么,電子無塵車間對芯片有什么要求呢?
電子行業(yè)的生產(chǎn)過程要求抗靜電和抗振動(dòng)性能,室內(nèi)氣體種類繁多,因此電子無塵車間要求高純度和潔凈度:
首先,室內(nèi)空間的空噪音不應(yīng)大于60db(A)
其次,無塵車間室內(nèi)外靜壓差不小于10pa,潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)不小于5pa。
第三,電子制造業(yè)無塵車間布比卡因的合理分配。單向流動(dòng)潔凈室應(yīng)大于等于40%,垂直流動(dòng)潔凈室應(yīng)小于60%。只有這樣布比卡因才能分布,否則它將成為局部單向流動(dòng)。
后,為電子無塵車間凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器提供新鮮空氣和超溫?cái)嚯姳Wo(hù)(如果使用點(diǎn)加濕,應(yīng)提供無水保護(hù))。寒冷天氣區(qū)域應(yīng)為新鮮空氣系統(tǒng)提供防凍保護(hù)措施。
高性能無塵車間可以為電子芯片的生產(chǎn)和制造創(chuàng)造高度清潔的環(huán)境。只有在這種環(huán)境下,才能保證電子芯片的安全生產(chǎn)。