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潔凈棚是一種投資少而凈化級(jí)別高,移動(dòng)比較方便的簡(jiǎn)易凈化裝置。將潔凈層流罩FFU放置在由專業(yè)凈化鋁型材或方通組裝而成的龍骨架上。頂部由盲板鋪蓋,密縫嚴(yán)密,四周用防靜電簾/防靜電有機(jī)玻璃圍封,四周底部利用正壓風(fēng)壓自然排風(fēng)形式,使棚區(qū)內(nèi)的潔凈度達(dá)到100級(jí)—30萬(wàn)級(jí)的凈化要求。該產(chǎn)品是醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、食品、電視、電子等行業(yè)的取樣、貨物傳遞等的理想化移動(dòng)設(shè)備,也是CMP第22條規(guī)定的必備設(shè)備。
參數(shù)說(shuō)明: