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隨著人們生活質(zhì)量的提高,對(duì)他們的生產(chǎn)質(zhì)量的要求越來越嚴(yán)格。在電子無塵車間和其他行業(yè)的無塵車間的建設(shè)規(guī)劃中,靜電控制有兩種:高濕度實(shí)際上減少了無塵車間和潔凈室表面的靜電電荷積累,這是期望的結(jié)果。較低的濕度更適合電荷積累,并成為潛在的破壞性靜電放電源。
當(dāng)相對(duì)濕度超過50 %時(shí),靜電開始迅速消散,但是當(dāng)相對(duì)濕度低于30 %時(shí),它們會(huì)在絕緣體或未接地表面上持續(xù)很長時(shí)間。
相對(duì)濕度在35 %到40 %之間是一個(gè)令人滿意的折衷方案,半導(dǎo)體無塵車間和潔凈室通常使用額外的控制裝置來限制靜電的積累。許多化學(xué)反應(yīng)的速度,包括腐蝕過程,將隨著相對(duì)濕度的增加而增加。暴露在潔凈室和潔凈室周圍空氣中的所有表面都很快被至少一層水覆蓋。當(dāng)這些表面由能與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí),高濕度會(huì)加速反應(yīng)。幸運(yùn)的是,一些金屬,例如鋁,可以用水形成保護(hù)性氧化層,防止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)。然而,另一種情況,例如氧化銅,沒有保護(hù)作用,因此銅表面在高濕度環(huán)境中更容易受到腐蝕。
舉例說明一下:
在電子工業(yè)中,制造車間是產(chǎn)生靜電的重要場所。通常靜電會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品短路,甚至導(dǎo)致員工導(dǎo)電昏厥事故。因此,電子行業(yè)無塵車間的相對(duì)濕度不應(yīng)低于30 %,這可以減少靜電的產(chǎn)生。一般建議無塵車間防靜電區(qū)域的相對(duì)濕度不低于50 %。太干燥的空氣容易揚(yáng)塵。在電子工廠無塵車間沒有特殊要求的情況下,溫度控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在55 %至60 % RH之間。在這種環(huán)境中,人們感覺舒適,靜電消失了。