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無(wú)塵凈化車間、潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，無(wú)塵廠房選擇應(yīng)該考慮人的舒服感。隨著空氣凈化要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，無(wú)塵凈化車間需要達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以需要有土0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在準(zhǔn)確裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。
然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
2.相通潔凈室之間的門要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。
3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
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