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青島海森潔凈無塵凈化車間的設(shè)計(jì)規(guī)劃
1,選址原則:無塵凈化車間地址的選擇應(yīng)符合生產(chǎn)有利,生活便利,節(jié)省投資和運(yùn)營費(fèi)用的原則。場地應(yīng)位于自然環(huán)境中,水質(zhì)好,大氣塵埃濃度低,地形,特征和地貌引起的小氣候有利于生產(chǎn)和節(jié)約能源。無塵凈化車間應(yīng)該遠(yuǎn)離大量的灰塵,煙霧,有毒氣體和微生物排放的區(qū)域。如機(jī)場,鐵路,碼頭,交通路線等,并在污染源和迎風(fēng)面全年主導(dǎo)風(fēng)向,并有一定的保護(hù)。潔凈室與主要交通道路之間的距離應(yīng)大于50米。
2.移動線路規(guī)劃的要點(diǎn):有必要對人車路線,管道系統(tǒng),排氣管道,原材料處理和操作過程進(jìn)行檢查和分析,并盡量縮短移動線路,避免交叉,以防止交叉污染。不要集中操作員,化學(xué)品,材料等;應(yīng)在凈室周圍設(shè)置緩沖區(qū);制造設(shè)備的使用不應(yīng)對操作產(chǎn)生重大影響。
3.一些空氣凈化系統(tǒng)空氣,如果不能避免處理后的交叉污染,不能回收:固體物料破碎,稱重,復(fù)合,混合,材料制備,壓片,涂層,填充等工序;原料的精制和干燥過程用有機(jī)溶劑純化;放射性藥物生產(chǎn)區(qū);病原體手術(shù)區(qū);生產(chǎn)過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)和揮發(fā)性氣體的過程;
4.節(jié)能原則:潔凈室有很多節(jié)能場所,如供暖,通風(fēng)和空調(diào)(HVAC),工藝?yán)鋮s,壓縮空氣和其他一些設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電量超過整個晶圓制造設(shè)施的一半。大量浪費(fèi)的電力和HVAC容量過剩的原因主要是由于設(shè)備的設(shè)計(jì)和建造的捷徑,盡可能地壓縮初始投資,而不管后期的運(yùn)營成本。有效的設(shè)計(jì)和有效的設(shè)備需要大量的前期投資。所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導(dǎo)致工廠性能降低和能源消耗增加。重建已建成的工廠往往陷入無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦。